半導體行業(yè)超聲波流量計潔凈室環(huán)境中的高優(yōu)先事項之一是避免溶解的金屬對流動介質（例如超純水或去離子水，清潔劑，溶劑以及酸和腐蝕性）的潛在污染。

壓縮空氣和熱能計量超聲波流量計弗萊克森FLUXUS G601 CA Energy用于壓縮空氣和熱能計量不僅可以測量壓縮空氣的流量，還可以對加熱或冷卻設備的熱能流進行量化，因此是挖掘節(jié)能潛力的理想工具。

便攜式超聲波流量計KATflow 210是一款專為戶外設計的便攜式超聲波流量計，可用于各種惡劣工況條件下需要可靠流量的測量。憑借*的電池技術和耐用的防水外殼，該儀器可長期安裝在電源供應受限的惡劣環(huán)境中。 儀器配合定制的IP68版本的K1N不銹鋼傳感器，使整套設備適用性得到進一步增強，該傳感器增加了防沖擊保護功能，堅固的外箱使儀器達到可靠性、安全性和自主性的平衡。

雙螺桿流量計 (SRZ) 適用于高粘度和研磨性介質 圓筒形外殼內有兩個擺線螺旋主軸，其幾何重疊的輪廓在殼體內形成高精度互鎖。這樣就在主軸輪廓與殼體壁之間形成了封閉的測量腔。這些測量腔用以傳送被測量的介質。介質被強力引導并軸向流經測量腔的孔，從而使得主軸旋轉。這一過程中無脈動，且滲漏最小。一個帶有高速脈沖盤的非接觸式頻率測量元件用來測量一對主軸相對于殼體壁的旋轉速度。主軸的旋轉速度在很大范圍內與體積

LFM微小流量計適合于在各種加藥和填充的應用中測量低粘度的流體流量。 它是基于旋轉活塞的原理來工作的。由于具有極小的摩擦力和壓損，LFM可以用于測量非常小的流量。 在這個微小流量計的生產過程中僅使用能夠承受腐蝕性液體的優(yōu)質鋼材。流量計的核心部件采用高精度的測量元件并保證非常小的制造公差，以保證LFM流量計極低的泄漏率，以及非常好的線性和重復性。

渦輪流量計(HM)是根據福特曼葉輪計(Woltmann Impeller Counter)原理工作的容積計數(shù)器。它們通過平均流速記錄管道中流過的流量。介質的流動沿軸向指向渦輪，并因此旋轉。自由旋轉的葉輪在較大范圍內的速度與平均流速成正比。渦輪流量計主要用于潤滑和非潤滑介質的應用。它們特別適合于低粘度和中粘度液體的流速測量，如水、乳液、乙二醇混合物和輕質油。測量低溫液體也是可能的。由于其靈活的設計，

美國特勵丹公司的Ultraflow 150是超聲波煙氣流速（流量）和溫度監(jiān)測儀，通過測量超聲波傳輸時間和速度來計算煙氣的流速和溫度。 一對超聲波換能器以一定角度安裝在煙囪或煙道的相對兩側，一支在煙氣上游，一支在煙氣下游，兩支換能器交替發(fā)送和接收超聲波，現(xiàn)場監(jiān)測儀分別測量超聲波順氣流和逆氣流的傳輸時間，即可計算超聲波傳輸路徑上煙氣的線平均流速。也可以安裝兩對超聲波換能器，即“X”型，提供兩方向上的

上海睿丹自動化儀表有限公司MFC維修校準服務可以修復半導體行業(yè)的主要品牌MFC，包括MKS、Brooks、Unit,Mykrolis、Pall、Fujinkin等 對于Cl2和Br2 MFC，我們建議客戶更換新的，我們也可以提供1對1的交換服務。 品牌 型號 Brooks(Unit) GFC...

ALICAT 手持式大氣采樣流量校準儀66系列，采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置大氣壓傳感器和外置溫度探頭對當前大氣壓和環(huán)境溫度進行精確瞬間測量，專門針對環(huán)保法規(guī)要求設計。ALICAT 66系列手持式大氣采樣流量校準儀，可現(xiàn)場顯示當前大氣壓、溫度、濕度、體積流量和質量流量，主要用于大氣顆粒物校準儀采集器流量的定期校準，方便快捷。

ALICAT 便攜式高壓氣體質量流量計62Q系列，這款多功能62Q系列便攜式高壓氣體質量流量計可縮短檢定或驗證高壓（160-320 psia）條件下運行流量所需時間，還能夠瞬間提供多種氣體的實時讀數(shù)，從而縮短停機時間和過程中斷時間。